我国初次树立根据硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽规范物质

　　中新社北京9月13日电 (记者 刘亮)我国国家市场监管总局近来同意树立平面结构纳米线宽规范物质和立体结构纳米线宽规范物质，打通极小纳米线宽量值向硅晶格常数溯源的计量途径，成为我国集成电路晶体管栅极线宽溯源最精准“标尺”，支撑集成电路制作向极微观规范跨进，提高集成电路芯片集成度和功能先进制作水平，促进我国集成电路工业开展。

　　纳米线宽作为集成电路的要害尺度，指晶体管栅极的最小线宽(栅宽)，是描绘集成电路工艺先进程度的一个重要目标，其量值的准确性将极大影响电流、电阻等电特性参数，然后影响芯片器材的功能目标。

　　有研讨标明，当集成电路线宽节点到达32nm以下时，线宽量值10%的差错将导致芯片器材失效。当时集成电路先进的工艺制程节点要求线宽到达原子级准确度，一般选用线宽规范物质对要害尺度量测设备进行计量溯源，以保证要害尺度规划加工的准确性。跟着集成电路工艺制程节点的不断缩小，芯片的晶体管密度添加和功能提高得益于晶体管栅极宽度的不断削减。

　　我国计量科学研讨院的纳米线宽规范物质研发团队，完成对线宽规范物质的原子级准确度(<1nm)计量溯源，突破了现有波长计量基准(633nm)溯源方法对线宽丈量的5nm不确定度水平极限，研发成功了与集成电路要害制程节点相对应的7nm、22nm、45nm的线宽规范物质，不确定度水平处在0.32nm～1.3nm，开始构建了根据硅晶格常数溯源的集成电路高准确度纳米线宽计量溯源系统，为保证集成电路与原子级制作几许量值的准确性奠定了坚实计量根底。(完) 【修改:房家梁】